BS-4020A 삼안 산업용 웨이퍼 검사 현미경
소개
BS-4020A 산업용 검사 현미경은 다양한 크기의 웨이퍼와 대형 PCB의 검사를 위해 특별히 설계되었습니다. 이 현미경은 신뢰할 수 있고 편안하며 정확한 관찰 경험을 제공할 수 있습니다. 완벽하게 수행되는 구조, 고화질 광학 시스템 및 인체 공학적 운영 체제를 갖춘 BS-4020은 전문적인 분석을 실현하고 웨이퍼, FPD, 회로 패키지, PCB, 재료 과학, 정밀 주조, 금속 세라믹, 정밀 금형, 연구 및 검사의 다양한 요구를 충족시킵니다. 반도체, 전자제품 등
1. 완벽한 현미경 조명 시스템.
현미경에는 Kohler 조명이 함께 제공되어 시야 전체에 걸쳐 밝고 균일한 조명을 제공합니다. 무한대 광학 시스템 NIS45, 높은 NA 및 LWD 대물렌즈와 조화를 이루어 완벽한 현미경 이미징을 제공할 수 있습니다.
특징
반사 조명의 명시야
BS-4020A는 뛰어난 무한대 광학 시스템을 채택했습니다. 시야는 균일하고 밝으며 색 재현도가 높습니다. 불투명한 반도체 시료를 관찰하는데 적합합니다.
암시야
암시야 관찰이나 미세한 흠집 등의 결함에 대한 고감도 검사 수행 시에도 고화질 이미지를 구현할 수 있습니다. 요구사항이 높은 시료의 표면 검사에 적합합니다.
투과 조명의 명시야
FPD 및 광학 소자와 같은 투명한 샘플의 경우 투과광 집광기를 통해 명시야 관찰을 실현할 수 있습니다. DIC, 단순 편광 및 기타 액세서리와 함께 사용할 수도 있습니다.
단순편파
이 관찰 방법은 금속 조직, 광물, LCD 및 반도체 재료와 같은 복굴절 표본에 적합합니다.
반사조명 DIC
이 방법은 정밀 금형의 작은 차이를 관찰하는 데 사용됩니다. 관찰기법은 일반적인 관찰방법으로는 볼 수 없는 작은 높이차를 엠보싱과 입체영상의 형태로 보여줄 수 있습니다.
2. 고품질 Semi-APO 및 APO 명시야 및 암시야 대물렌즈.
NIS45 시리즈 Semi-APO 및 APO 대물렌즈는 다층 코팅 기술을 채택하여 구면수차와 자외선에서 근적외선까지의 색수차를 보상할 수 있습니다. 이미지의 선명도, 해상도 및 색상 재현이 보장됩니다. 다양한 배율에 대한 고해상도 및 평면 이미지를 얻을 수 있습니다.
3. 작동 패널은 현미경 전면에 있어 작동이 편리합니다.
메커니즘 제어반은 현미경 전면(작업자 근처)에 위치하여 시료 관찰시 작업이 더욱 빠르고 편리해집니다. 그리고 장시간 관찰로 인한 피로와 넓은 범위의 움직임으로 인해 발생하는 부유 먼지를 줄일 수 있습니다.
4. Ergo 틸팅 삼안 관찰 헤드.
Ergo 틸팅 뷰잉 헤드는 관찰을 더욱 편안하게 만들어 장시간 작업으로 인한 근육 긴장과 불편함을 최소화합니다.
5. 손 위치가 낮은 무대의 초점 조정 메커니즘과 미세 조정 핸들.
초점 메커니즘과 스테이지의 미세 조정 핸들은 인체공학적 디자인에 부합하는 낮은 손 위치 디자인을 채택했습니다. 사용자는 조작 시 손을 들 필요가 없어 최고의 편안함을 느낄 수 있습니다.
6. 스테이지에는 클러치 핸들이 내장되어 있습니다.
클러치 핸들은 스테이지의 빠르고 느린 이동 모드를 실현할 수 있으며 넓은 면적의 샘플을 빠르게 찾을 수 있습니다. 스테이지의 미세 조정 핸들과 함께 사용하면 더 이상 샘플의 위치를 빠르고 정확하게 찾는 것이 어렵지 않습니다.
7. 대형 웨이퍼 및 PCB에는 대형 스테이지(14"x 12")를 사용할 수 있습니다.
마이크로 전자공학 및 반도체 샘플, 특히 웨이퍼의 영역은 넓은 경향이 있으므로 일반 금속 현미경 스테이지는 관찰 요구를 충족할 수 없습니다. BS-4020A는 이동 범위가 넓은 대형 스테이지를 갖추고 있어 이동이 편리하고 쉽습니다. 따라서 넓은 면적의 산업 시료를 현미경으로 관찰하는 데 이상적인 장비입니다.
8. 12인치 웨이퍼 홀더는 현미경과 함께 제공됩니다.
12인치 웨이퍼와 더 작은 크기의 웨이퍼를 이 현미경으로 관찰할 수 있으며, 빠르고 미세한 이동 스테이지 핸들이 있어 작업 효율성을 크게 향상시킬 수 있습니다.
9. 정전기 방지 보호 커버로 먼지를 줄일 수 있습니다.
산업용 샘플은 부유 먼지로부터 멀리 떨어져 있어야 하며 약간의 먼지는 제품 품질과 테스트 결과에 영향을 미칠 수 있습니다. BS-4020A에는 넓은 면적의 정전기 방지 보호 커버가 있어 부유 먼지와 낙하 먼지를 방지하여 샘플을 보호하고 테스트 결과를 보다 정확하게 만들 수 있습니다.
10. 더 긴 작동 거리와 높은 NA 대물렌즈.
회로 기판 샘플의 전자 부품과 반도체는 높이 차이가 있습니다. 따라서 이 현미경에는 긴 작동 거리 대물렌즈가 채택되었습니다. 한편, 산업용 샘플의 색 재현에 대한 높은 요구 사항을 충족시키기 위해 다층 코팅 기술이 수년에 걸쳐 개발 및 개선되었으며 NA가 높은 BF&DF semi-APO 및 APO 대물 렌즈가 채택되어 샘플의 실제 색상을 복원할 수 있습니다. .
11. 다양한 관찰 방법은 다양한 테스트 요구 사항을 충족할 수 있습니다.
| 조명 | 명시야 | 암시야 | DIC | 형광 | 편광 |
| 반사 조명 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
| 투과된 조명 | ○ | - | - | - | ○ |
애플리케이션
BS-4020A 산업용 검사 현미경은 다양한 크기의 웨이퍼와 대형 PCB 검사에 이상적인 장비입니다. 이 현미경은 웨이퍼, FPD, 회로 패키지, PCB, 재료 과학, 정밀 주조, 금속 세라믹, 정밀 금형, 반도체 및 전자 제품 등의 연구 및 검사를 위해 대학, 전자 및 칩 공장에서 사용할 수 있습니다.
사양
| 목 | 사양 | BS-4020A | BS-4020B | |
| 광학계 | NIS45 무한 색 보정 광학 시스템(튜브 길이: 200mm) | ● | ● | |
| 뷰잉 헤드 | Ergo Tilting Trincular Head, 0~35° 경사 조절 가능, 동공 간 거리 47mm~78mm; 분할 비율 접안 렌즈: Trincular=100:0 또는 20:80 또는 0:100 | ● | ● | |
| Seidentopf 삼안 헤드, 30° 경사, 동공 간 거리: 47mm-78mm; 분할 비율 접안 렌즈: Trincular=100:0 또는 20:80 또는 0:100 | ○ | ○ | ||
| Seidentopf 쌍안 헤드, 30° 경사, 동공 간 거리: 47mm-78mm | ○ | ○ | ||
| 접안 렌즈 | 초광각 시야 계획 접안렌즈 SW10X/25mm, 디옵터 조절 가능 | ● | ● | |
| 초광각 시야 계획 접안렌즈 SW10X/22mm, 디옵터 조절 가능 | ○ | ○ | ||
| 매우 넓은 시야 계획 접안렌즈 EW12.5X/17.5mm, 디옵터 조절 가능 | ○ | ○ | ||
| 광시야 계획 접안렌즈 WF15X/16mm, 디옵터 조절 가능 | ○ | ○ | ||
| 광시야 계획 접안렌즈 WF20X/12mm, 디옵터 조절 가능 | ○ | ○ | ||
| 목적 | NIS45 무한 LWD 계획 세미-APO 대물렌즈(BF & DF), M26 | 5X/NA=0.15, WD=20mm | ● | ● |
| 10X/NA=0.3, WD=11mm | ● | ● | ||
| 20X/NA=0.45, WD=3.0mm | ● | ● | ||
| NIS45 무한 LWD 계획 APO 대물렌즈(BF & DF), M26 | 50X/NA=0.8, WD=1.0mm | ● | ● | |
| 100X/NA=0.9, WD=1.0mm | ● | ● | ||
| NIS60 무한 LWD 계획 세미 APO 대물렌즈(BF), M25 | 5X/NA=0.15, WD=20mm | ○ | ○ | |
| 10X/NA=0.3, WD=11mm | ○ | ○ | ||
| 20X/NA=0.45, WD=3.0mm | ○ | ○ | ||
| NIS60 무한 LWD 계획 APO 대물렌즈(BF), M25 | 50X/NA=0.8, WD=1.0mm | ○ | ○ | |
| 100X/NA=0.9, WD=1.0mm | ○ | ○ | ||
| 노즈피스 | 후방 6중 노즈피스(DIC 슬롯 포함) | ● | ● | |
| 콘덴서 | LWD 콘덴서 NA0.65 | ○ | ● | |
| 투과된 조명 | 광섬유 라이트 가이드가 있는 40W LED 전원 공급 장치, 강도 조절 가능 | ○ | ● | |
| 반사 조명 | 반사광 24V/100W 할로겐 램프, Koehler 조명, 6개 위치 터렛 포함 | ● | ● | |
| 100W 할로겐 램프 하우스 | ● | ● | ||
| 5W LED 램프를 사용한 반사광, Koehler 조명, 6개 위치 터렛 포함 | ○ | ○ | ||
| BF1 명시야 모듈 | ● | ● | ||
| BF2 명시야 모듈 | ● | ● | ||
| DF 암시야 모듈 | ● | ● | ||
| ND6, ND25 필터 및 색보정 필터 내장 | ○ | ○ | ||
| 에코 기능 | ECO 버튼이 있는 ECO 기능 | ● | ● | |
| 집중 | 낮은 위치 동축 조동 및 미세 초점, 미세 분할 1μm, 이동 범위 35mm | ● | ● | |
| 단계 | 클러치 핸들이 있는 3겹 기계식 스테이지, 크기 14"x12"(356mmx305mm); 이동 범위 356mmX305mm; 투과광 조명 영역: 356x284mm. | ● | ● | |
| 웨이퍼 홀더: 12인치 웨이퍼를 고정하는 데 사용 가능 | ● | ● | ||
| DIC 키트 | 반사 조명용 DIC 키트(10X, 20X, 50X, 100X 대물렌즈에 사용 가능) | ○ | ○ | |
| 편광 키트 | 반사 조명용 편광판 | ○ | ○ | |
| 반사 조명용 분석기, 0-360° 회전 가능 | ○ | ○ | ||
| 투과 조명용 편광판 | ○ | ○ | ||
| 투과 조명용 분석기 | ○ | ○ | ||
| 기타 액세서리 | 0.5X C-마운트 어댑터 | ○ | ○ | |
| 1X C 마운트 어댑터 | ○ | ○ | ||
| 더스트 커버 | ● | ● | ||
| 전원 코드 | ● | ● | ||
| 교정 슬라이드 0.01mm | ○ | ○ | ||
| 표본 압착기 | ○ | ○ | ||
참고: ● 표준 복장, ○ 선택 사항
샘플 이미지
차원
단위: mm
시스템 다이어그램
자격증
기호 논리학
